ウエファーの構造軽い表面の形の検出装置
適用
ウエファーの平坦の検出。
働き主義
測定された表面のポイント雲の配分そして湾曲の配分はに従って計算される
軽い縞の変形、および表面の形の誤差分布はポイントの比較によって得ることができる
理想的なモデルとの雲の配分。
特徴
| モデル | SSD-W-X-X |
| 測定範囲 | 200×150mm2 |
| 横断決断 | 慣習的な0.25mm、調節可能 |
| 測定の精密 | 絶対誤差:±3μm （直径の100mm） |
| 注:利用できるカスタマイズされた生産。 | |
検出のイメージ
私達の利点
私達は製造業者である。
成長したプロセス。
24就業時間以内の応答。
私達のISOの証明
私達のパテントの部分
私達の賞の部分およびR & Dの資格
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