表示パネル 表面欠陥検出器
アプリケーション
ディスプレイパネル製造の工程管理・歩留まり管理で、メーカー様のお役に立ちます。
マスクの欠陥を特定して監視し、歩留まりのリスクを軽減し、独自の研究開発能力を向上させます。
コア技術。
動作原理
視覚的なアプローチとして、4倍テレセントリックレンズ、特定角度リングライト、同軸光源が選択されています。
マスク表面の欠陥を自動的に検出するために、欠陥位置を自動的に特定します。
特徴
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モデル |
SDD-DP-X—X | |
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パフォーマンス検出 |
検出可能な欠陥の種類 | キズ、ホコリ |
| 検出可能な欠陥サイズ | 1μm | |
| 検出精度（実測) |
100%の不良検出・回収 欠陥(キズ、ホコリ) |
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| 検出効率 |
≤10分 (実測値：350mm×300mmマスク) |
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光学系の性能 |
解像度 | 1.8μm |
| 倍率 | 40倍 | |
| 視野 | 0.5mm×0.5mm | |
| ブルーライトイルミネーション | 460nm、2.5w | |
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モーションプラットフォームの性能
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X、Y 2 軸モーション 大理石カウンターの平坦度：2.5μm Y軸Z方向振れ精度：≦10.5μm Y軸Z方向振れ精度：≦8.5μm |
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| 注: 利用できるカスタマイズされた生産。 | ||
検出画像
私たちの利点
私たちはメーカーです。
成熟したプロセス。
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当社の ISO 認証
当社の特許の一部
研究開発の賞と資格の一部
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