装飾的なコーティング分野のマグネトロンの放出させる沈殿
適用
| 適用 | 特定の目的 | 物質的なタイプ |
| 装飾的なコーティング | カラー フィルム、金属で処理されたフィルム | Al2O3、TiO2、およびいろいろな種類の金属のフィルム |
働き主義
放出させるマグネトロンはターゲット表面の磁界をもたらすことおよび使用によって放出させる率を高めることである
血しょう密度を増加するように荷電粒子を強いる磁界。
特徴
| モデル | MSC-DC-X-X |
| コーティングのタイプ | メタル・フィルム、金属酸化物およびAINのようなさまざまな誘電性のフィルム |
| コーティングの温度較差 | 500℃への正常な温度 |
| コーティングの真空槽のサイズ | 700mm*750mm*700mm （カスタマイズ可能） |
| 背景の真空 | < 5="">-7mbar |
| コーティング厚さ | ≥ 10nm |
| 厚み制御の精密 | ≤ ±3% |
| 最高のコーティングのサイズ | ≥ 100mm （カスタマイズ可能な） |
| フィルム厚さの均等性 | ≤ ±0.5% |
| 基質のキャリア | 惑星の回転メカニズムを使って |
| 目標資料 | 4×4インチ（4インチと互換性があり、下の） |
| 電源 | およびバイアスが任意なら、DCの脈拍、RFのような電源 |
| プロセス ガス | ArのN2、O2 |
| 注:利用できるカスタマイズされた生産。 | |
コーティングのサンプル
プロセス ステップ
→Place真空槽にコーティングのための基質;
→は大体vacuumize;
→は分子ポンプで回ったり、全速力でvacuumize、そして回転および回転で回る;
温度がターゲットに達するまで真空槽を熱する→;
→は一定した温度調整を実行する;
→は要素をきれいにする;
→は起源に戻って回転し、;
プロセス条件に従う→のコーティングのフィルム;
→は低温を、コーティングの後でポンプ アセンブリを停止する;
→は自動操作が終了するとき働くことを止める。
私達の利点
私達は製造業者である。
成長したプロセス。
24就業時間以内の応答。
私達のISOの証明
私達のパテントの部分
私達の賞の部分およびR & Dの資格
