ZEITのマグネトロンの放出させるコータ

マグネトロン スパッタリング コーティング マシン
March 14, 2023
放出させるZEITのマグネトロンは一種の物理的な蒸気沈殿(PVD)である。従ってそれは磁気および電界間の相互作用によってターゲット表面の近くで螺線形道の電子移動をし、イオンを発生させるためにアルゴンのガスに当る電子の確率を高める。発生させたイオンは電界の行為の下でそしてターゲット表面に当り、基質の表面のdepositeの薄膜に目標資料を放出させる。一般的な放出させる方法はさまざまな金属の準備に、半導体、強磁性材料、また絶縁された酸化物、製陶術および他の物質使用することができる。装置は放出させ、multi-target順次に放出させ、そして共同放出させる単一ターゲットのような機能のプログラム可能なプロセス インターフェースによって変数を、入れることができるPLC+のタッチ パネルHMIの制御システムを使用する。

マイクロエレクトロニクスの分野のnon-thermalコーティングの技術として、マグネトロンの放出させる沈殿は半導体、表示、磁気記録、光学録音、ペロプスカイトの薄膜電池、治療、装飾的なコーティング、反変色のコーティング、光学フィルム、耐光性のフィルム、抵抗フィルム、超伝導のフィルム、磁気フィルムで広く利用されている、等カスタマイズした利用できる生産を。


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